風(fēng)機(jī)是潔凈工作棚中非常重要的部件。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入,經(jīng)初效過濾器,再經(jīng)過過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速勻速送出到潔凈棚內(nèi)。形成均流層,使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄?,從而保證了工作區(qū)內(nèi)所要求的潔凈度。
垂直層流式方向要保持均一氣流:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
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